HG-EM多入射角激光橢偏儀（光伏專(zhuān)用/科研通用兩種應用選擇）

HG-EM激光橢偏儀是針對光伏太陽(yáng)能電池高端研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的極致型多入射角激光橢偏儀?？蓮V泛應用于晶體硅太陽(yáng)電池、薄膜太陽(yáng)電池等。

HG-EM激光橢偏儀用于測量絨面單晶硅或多晶硅太陽(yáng)電池表面減反膜鍍層的厚度以及在632.8nm下的折射率n。也可測量光滑平面材料上的單層或多層納米薄膜的膜層厚度，以及在632.8nm下折射率n和消光系數k。

典型納米膜層包括SiNx，ITO，TiO2，SiO2，Al 2O3，HfO2等。應用領(lǐng)域包括半導體、微電子、平板顯示等。HG-EM激光橢偏儀融合多項技術(shù)，采用一體化樣品臺技術(shù)，兼容測量單晶和多晶太陽(yáng)電池樣品，并實(shí)現二者的輕松轉換。一鍵式多線(xiàn)程操作軟件，使得儀器操作簡(jiǎn)單安全。

特點(diǎn)：

★ 粗糙絨面納米薄膜的高靈敏測量

★ 原子層量級的極高靈敏度和準確度

★ 百毫秒量級的快速測量

★ 簡(jiǎn)單方便安全的儀器操作

★ 一鍵式操作

技術(shù)指標：